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等离子清洗机工艺参数设置不当导致清洗失败
参数是等离子清洗的灵魂，功率、气体流量、处理时间、真空度任何...
等离子清洗机电极与喷嘴磨损积污，性能衰减
电极和喷嘴在长期使用后不可避免地出现磨损、氧化层积累或积碳，...
等离子清洗机真空度无法达标或下降过快
真空系统是等离子清洗机的心脏，真空度不达标将直接导致等离子体...
等离子清洗机清洗效果不均匀，局部残留严重
等离子体分布不均是晶圆清洗中的致命伤，直接导致部分区域表面处...
等离子清洗机等离子体无法产生（不出辉光）
等离子清洗机启动后真空腔体内无辉光，是最基础也最高频的故障。...
等离子清洗机电极烧蚀严重，使用寿命远低于预期
电极是等离子清洗机的核心耗材，正常使用寿命根据功率和气体类型...