真空系统是等离子清洗机的心脏，真空度不达标将直接导致等离子体无法产生或清洗效果大打折扣。常见原因包括：腔体密封圈老化、变形或破损，门缝处有杂质残留导致漏气；真空泵泵油不足、泵油颜色暗淡污浊或泵油变质，抽气效率骤降；真空管路内杂质、油污堆积导致抽气不畅。排查步骤：先检查密封圈状态，及时更换损坏件并清洁门缝；再检查泵油颜色和油位，油位低于一半时及时添加，泵油暗淡污浊时立即更换；最后清理真空管路和阀门，检查是否卡顿或密封不严。配套油泵系统需特别注意：实验结束后应按"关RF→关主机电源→三通阀卸压→关真空泵→完全卸压"的顺序操作，防止泵油返流污染腔体，建议使用带防回吸功能的真空泵。