电极和喷嘴在长期使用后不可避免地出现磨损、氧化层积累或积碳，这是清洗能力下降的核心原因之一。电极表面的氧化层会阻碍放电效率，需定期断电后拆卸清洁，用600目砂纸轻轻打磨，注意保持原有弧度，残留高压可达上千伏，操作时务必断电。喷嘴磨损会导致等离子体喷射方向偏移、能量分布不均，影响晶圆表面处理的一致性。建议每运行5000小时对干泵系统做一次维护保养，电极每次清洁后用塞尺确认两极间距在3-5mm之间，太近易短路，太远则无法起辉。若电极损坏严重，应及时更换而非勉强使用，否则不仅清洗效果差，还可能损伤晶圆表面。分段式电极还需检查每个连接点的紧固情况，松动会导致局部放电异常。