设备启动异常：电源与气源故障排查

问题描述：玻璃基板等离子清洗机在启动时出现无法开机或频繁报警，显示屏提示“电源异常”或“气源不足”。
原因分析：

1. 电源故障：电源线接触不良、电压波动超出设备额定范围（如±10%以上）、电源模块损坏。

2. 气源问题：气体瓶压力不足、气路管道泄漏或堵塞、气体流量调节阀故障。
   解决方案：

• 电源检查：

• 确认电源线插头与插座连接牢固，无松动或氧化现象。

• 使用万用表检测输入电压，若电压不稳定，需安装稳压器或联系电力部门处理。

• 若电源模块损坏，需更换同型号模块，并检查设备接地是否良好（接地电阻应≤4Ω）。

• 气源排查：

• 检查气体瓶压力表，若压力低于0.2MPa，需更换气瓶或调整减压阀至0.2-0.3MPa。

• 用肥皂水涂抹气路管道接头，观察是否有气泡产生，若发现泄漏，需紧固接头或更换密封圈。

• 拆卸气体流量调节阀，用清洁剂清洗内部滤网，确保气体流通顺畅。