晶圆等离子清洗机的日常维护和保养需要注意哪些事项？

为保障设备长效稳定运行，需遵循以下维护规范：

• 真空腔清洁：定期用无尘布蘸酒精/丙酮擦拭腔体内壁，深度清洁可使用专用清洁剂；长期未清洁会导致污染物积累，影响等离子体均匀性；

• 泵浦系统维护：油泵需每半年至1年更换专用泵油，监测油位和油质；干泵需每5000小时维护一次，检查密封条和真空度；

• 管路与阀门检查：定期检查气路、真空管路连接件，避免漏气；针型阀避免频繁调节，禁止完全拧紧；

• 运行控制：连续运行不超过1小时，防止过热；关闭主电源前确保设备冷却；

• 电源与安全：稳定实验室电压，避免电流超载；低压时禁止强行开舱门，防止腔体损坏；

• 专业维护：定期进行系统点检、备件更换和专业维修，建立维护记录档案，必要时联系原厂技术支持。