发布时间：2025-08-30 10:57:37
作者：奥坤鑫(苏州)机电科技有限公司
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设备日常维护需要注意哪些问题？ A：1. 定期检查真空泵油和滤芯，确保真空系统稳定；2. 清洗反应腔体内壁，避免残留物污染；3. 检查射频电源匹配器，防止功率异常；4. 校准气体流量计，确保气体比例准确；5. 避免长时间高功率运行，延长电极寿命。
