现象：设备运行时产生异常振动或尖锐噪音。
原因分析：

1. 机械部件松动：真空泵、电机或传动机构固定螺栓未拧紧。

2. 轴承磨损：真空泵或电机轴承缺乏润滑或进入杂质。

3. 气流共振：气体流速过高导致管路或腔体振动。
   处理方案：

4. 紧固检查：

• 用扭矩扳手检查所有固定螺栓，确保拧紧力矩符合要求（如M8螺栓需25-30N·m）。

• 重点检查真空泵底座、电机支架和腔体连接处。

5. 轴承维护：

• 拆解真空泵或电机，清洗轴承并更换润滑脂（如使用高温锂基脂）。

• 若轴承损坏，需更换同型号轴承（如SKF 6204-2RS）。

6. 气流优化：

• 在气路中增加消音器，降低气体冲击噪音。

• 调整气体流量，避免流速过高（通常需≤30m/s）。