现象：真空度无法达到设定值，或保持一段时间后压力上升。
原因分析：

1. 真空泵性能下降：油位不足、叶片磨损或散热不良。

2. 管路泄漏：腔体密封圈老化、波纹管破裂或阀门未关紧。

3. 真空计故障：传感器损坏或校准偏移。
   处理方案：

4. 真空泵维护：

• 检查油位（需在视窗1/2-2/3处），不足时补充专用真空泵油。

• 清理泵体散热片灰尘，确保风扇运转正常。

5. 泄漏检测：

• 用氦质谱检漏仪定位漏点，重点检查腔体门、观察窗和法兰接口。

• 更换老化密封圈（如氟橡胶O型圈），涂抹真空脂增强密封性。

6. 真空计校准：

• 对比标准真空计读数，若偏差＞5%需重新校准。

• 检查真空计控制线路，排除电磁干扰。