现象：辉光颜色发暗、闪烁不定，或处理过程中突然熄灭。
原因分析：

1. 工作气压失衡：真空度过低导致电离困难，过高则抑制粒子运动。

2. 气体供给障碍：气路堵塞、泄漏或质量流量计失灵。

3. 电极污染：附着聚合物残留物或粉尘，改变电场分布。
   处理方案：

4. 气压调节：

• 通过蝶阀精细控制腔室压力至工艺卡片指定值（常规范围20-200Pa）。

• 若真空度过高，检查真空泵抽速是否匹配腔体容积。

5. 气路维护：

• 拆解进气管路，用酒精超声清洗过滤器，去除颗粒物堵塞。

• 用肥皂水检测管路接口密封性，重点检查减压阀和电磁阀连接处。

6. 电极清理：

• 关闭电源后拆洗电极板，先用砂纸轻磨去除结垢，再用无水乙醇擦拭晾干。

• 定期更换老化的同轴电缆或匹配器电容，确保高频能量高效耦合。