现象描述：设备启动后，真空泵正常运行，但真空度持续上升至设定值上限（如-95kPa），触发“真空度过高”警报并自动停机。

原因分析：

1. 进气流量设置过大：进气阀开度过大或气体流量计故障，导致进气量超过真空泵抽气能力。例如，某光伏企业设备因进气阀卡滞，实际进气量比设定值高30%，导致真空度异常升高。

2. 真空腔体或管道漏气：漏气点导致外部空气被吸入，但真空泵仍能维持高真空度，系统误判为“真空度过高”。例如，某航空航天企业设备因腔体观察窗密封胶老化，漏气率达0.5Pa/min，触发警报。

3. 真空计故障：真空计传感器损坏或校准失效，导致读数错误。例如，某半导体企业设备因真空计受电磁干扰，显示值比实际值高20kPa。

解决方案：

1. 调整进气流量：

• 检查进气阀开度，确保其与设定值一致；若阀门卡滞，需清洗或更换阀门。

• 校准气体流量计，确保进气量在设备允许范围内（如5-50sccm）。

2. 排查漏气点：

• 使用氦质谱检漏仪检测腔体及管道，重点排查观察窗、法兰接口、真空泵接口等部位。

• 若发现漏气点，更换密封圈或重新涂覆密封胶，确保漏气率≤0.1Pa/min。

3. 更换或校准真空计：

• 若真空计损坏，更换同型号传感器；若校准失效，使用标准真空计进行对比校准。

• 例如，将设备真空计与标准真空计并联测试，若读数偏差超过±5%，则需重新校准。