气体选择与配比：优化清洗效果

问题描述：不同气体对玻璃基板清洗效果的影响不明确，操作人员难以选择合适气体。
气体特性与适用场景：

1. 氧气（O₂）：

• 特性：强氧化性，可快速分解有机物（如油脂、指纹）。

• 适用场景：玻璃基板表面去有机污染、活化处理。

2. 氮气（N₂）：

• 特性：惰性气体，可去除氧化物（如金属氧化层）。

• 适用场景：玻璃基板表面去氧化、防腐蚀处理。

3. 氩气（Ar）：

• 特性：化学性质稳定，可产生高能量等离子体，适用于精密清洗。

• 适用场景：玻璃基板微结构清洗、高精度表面处理。

4. 混合气体（如O₂/Ar）：

• 特性：结合氧气和氩气的优点，清洗效率更高。

• 适用场景：复杂污染物（如有机物+氧化物）的联合清洗。