安全操作规范：避免人身与设备损伤

问题描述：操作人员因未遵守安全规范，导致触电、烫伤或设备损坏。
安全规范要点：

1. 个人防护：

• 操作时佩戴防护眼镜、耐高温手套和防静电服，避免高温等离子体或飞溅物伤害。

• 禁止佩戴金属饰品（如手表、戒指），防止导电引发触电。

2. 设备操作：

• 设备运行时严禁打开腔门，避免高温和真空环境造成伤害。

• 维护保养时必须先断开电源，等设备完全冷却（室温）后再进行操作。

3. 环境要求：

• 设备周围安装排风系统，确保有害气体（如臭氧、氮氧化物）及时排出室外。

• 避免在设备附近使用易燃易爆物质（如酒精、油漆），防止火灾或爆炸。