设备维护周期与标准：延长使用寿命

问题描述：设备长期使用后，出现性能下降（如真空度不足、等离子体不稳定），影响生产效率。
维护周期与内容：

1. 日常维护（每日）：

• 排空残留气体：处理结束后，通惰性气体（如氩气）1分钟，排出反应性气体。

• 擦拭腔体内部：用无尘布蘸取无水乙醇，擦拭腔体侧壁、顶盖及样品台。

• 检查管路密封性：目视检查气体管路是否有破损，接头处是否松动。

2. 每周维护：

• 清洁真空阀门：拆解手动/电动真空阀，用乙醇擦拭阀芯，去除残渣。

• 检查真空泵滤网：拆卸进气口滤网，用压缩空气吹扫粉尘和杂质。

• 清洁气体流量计：关闭气瓶后，拆卸流量计入口，用压缩空气吹扫管路。

3. 每月维护：

• 电源与线路检查：关闭总电源，检查电源线、接地线是否有破损，接线端子是否松动。

• 射频发生器校准：用功率计检测射频输出功率，若偏差＞5%，需微调参数或联系厂家维修。

• 更换气体过滤器：检查腐蚀性气体管路前端的过滤器，若外壳内有污渍，立即更换。