设备报警代码解析：快速定位故障

问题描述：设备运行过程中突然报警，显示屏显示错误代码（如E01、E02），操作人员无法判断故障原因。
常见代码及处理：

1. E01：电源故障

• 检查电源线是否松动、电压是否稳定，若问题依旧，需更换电源模块。

2. E02：气源故障

• 检查气体瓶压力、气路管道是否泄漏，若气瓶压力正常，需清洗气体流量计。

3. E03：真空故障

• 检查真空泵是否工作、管道是否泄漏，若泵油不足，需补充泵油。

4. E04：温度过高

• 检查冷却水流量、环境温度，若功率过高，需降低射频功率。

5. E05：急停未复位

• 检查急停按钮是否被按下，若未按下，需检查急停线路是否断路。