卷对卷真空等离子清洗机的维护要点有哪些？

日常维护需每日用无尘布擦拭316不锈钢腔体内壁，清除残留聚合物；每周检查射频电极表面氧化情况，若出现点蚀需用2000目砂纸打磨；每月更换真空泵油，选用ISO VG32抗乳化型润滑油。季度维护包括校准质量流量计（误差范围±2%）、检查真空计精度（需≤±5%）、测试射频电源稳定性（输出波动＜3%）。年度大修需拆解腔体，更换O型密封圈（材质为全氟橡胶），并检查电极冷却水路是否堵塞。以金徕设备为例，其电极采用钼材表面镀钛处理，维护时需用专用清洗剂去除镀层表面碳化物，避免影响等离子体均匀性。若设备长期停用，需在腔体内充入氮气保护，湿度控制在＜40%RH。