电极板等离子清洗机的核心工作原理是什么？
电极板等离子清洗机通过高频电场或射频电源在真空腔体内激发气体电离，形成富含电子、离子、自由基等活性粒子的等离子体。这些粒子以高速撞击材料表面，通过物理轰击剥离污染物（如油脂、氧化物），同时与表面分子发生化学反应，生成挥发性气体（如CO₂、H₂O）并脱离表面。例如，在半导体晶圆封装前，等离子体可去除焊盘表面0.1纳米级的有机物残留，使焊球结合力波动范围从±15%收窄至±5%，显著提升键合良率。电极板通常采用电容耦合（CCP）结构，悬挂于腔体顶部，通过均匀电场分布确保等离子体密度一致性，避免局部过热或清洗不均。