真空系统故障：真空度不足可能由漏气、泵油变质或真空泵故障引起。需检查腔体密封、管路连接和泵油状态，及时更换损坏部件；
供电异常：电源线松动、电压不稳或保险丝烧毁会导致设备停机。需检查电源连接、电压稳定性及保险丝状态，必要时配备稳压器；
气路问题：气体流量异常可能由减压阀堵塞、管路漏气或过滤器污染导致。需清洁或更换过滤器，检查气瓶压力和管路连接；
电极老化：电极氧化或间距偏差会影响等离子体生成。需定期打磨电极表面，调整极间距至标准值；
控制模块故障：PLC死机或参数错误可通过重启、恢复出厂设置或联系专业人员维修；
光路问题：石英窗污渍或激光器老化需清洁或更换部件，复杂问题需专业机构检测。
日常维护和规范操作可有效预防故障，保障设备稳定运行。
