等离子处理对玻璃基板性能的影响

• 表面化学性质：引入极性基团，提高表面能，增强润湿性和附着力。

• 表面形貌：通过刻蚀改变粗糙度，影响光学性能（如透光率、反射率）。

• 机械性能：表面改性可提高硬度和耐磨性，延长器件寿命。

• 电学性能：在ITO玻璃中，等离子处理可提高功函数，降低接触电阻，提升器件性能。

• 生物相容性：在生物医用玻璃中，等离子处理可改善细胞粘附和增殖性能。

表征方法：

• 表面能：通过接触角测量仪评估。

• 表面形貌：通过原子力显微镜（AFM）或扫描电子显微镜（SEM）观察。

• 化学成分：通过X射线光电子能谱（XPS）分析。

• 性能测试：根据应用需求进行附着力、透光率、电学性能等测试。