玻璃基板等离子处理的主要应用

• 表面清洁：去除有机物、油脂、指纹等污染物，提高表面洁净度。

• 表面活化：引入极性基团（如羟基、羧基），提高表面能，增强后续镀膜或粘接的附着力。

• 表面刻蚀：通过离子轰击实现纳米级刻蚀，调整表面粗糙度，改善光学性能。

• 镀膜前处理：在OLED、TFT-LCD等显示器件中，等离子处理可提高ITO玻璃的功函数，改善空穴注入效率。

• 抗反射涂层：通过等离子增强化学气相沉积（PECVD）制备抗反射膜，提高透光率。