等离子处理的基本原理

等离子体是物质的第四态，由带电粒子（电子、离子）和中性粒子组成。在等离子处理中，通过气体放电产生等离子体，高能粒子与玻璃基板表面发生物理和化学反应：

• 物理作用：高能粒子轰击表面，去除有机污染物、氧化物等杂质。

• 化学作用：活性自由基与表面原子反应，改变表面化学性质。

优势：

• 处理温度低，避免热损伤。

• 可实现选择性处理，不损伤基板内部结构。

• 处理时间短，效率高。