玻璃等离子清洗机的工作原理是什么？

玻璃等离子清洗机的工作原理是利用等离子体对玻璃表面进行处理。等离子体是物质的第四态，由离子、电子和中性粒子组成，具有高能量和高活性。当气体在电场作用下被电离时，就会形成等离子体。在玻璃等离子清洗机中，将待清洗的玻璃放入真空腔体中，然后通入适量的气体（如氧气、氮气、氩气等），通过高频电场或微波场将气体电离形成等离子体。等离子体中的高能粒子与玻璃表面的污染物发生碰撞，使其分解或脱离表面，这些高能粒子包括离子、电子、自由基等，它们能够与表面的有机污染物、氧化物和颗粒发生化学反应，将其分解为挥发性气体或小分子。最后通过真空泵将分解后的污染物排出腔体，完成清洗过程。例如，在半导体制造过程中，等离子清洗机可以有效地去除晶圆（玻璃基底常见应用场景）表面的有机污染物、氧化物和颗粒，确保后续的光刻、刻蚀等工艺顺利进行。