在线式真空等离子清洗机设备维护周期和常见故障有哪些？

答：
维护周期：

• 每日：清洁反应室、电极板；

• 每月：检查真空泵油位、更换过滤网；

• 每年：校准质量流量计、更换老化密封圈。
  常见故障：

• 真空度不足：密封泄漏、泵性能下降；

• 等离子体不稳定：电极污染、气体纯度不足；

• 清洗效果变差：功率衰减、反应室残留物堆积。
  建议：定期记录运行数据，由设备厂商提供预防性维护服务。