在线式真空等离子清洗机操作时需注意哪些关键参数和安全事项？

答：
关键参数：

• 真空度：通常需低于10Pa，确保等离子体稳定；

• 气体流量：根据材料选择气体类型及流量比例；

• 功率/时间：高功率适用于顽固污渍，但需避免材料损伤。
  安全事项：

• 真空腔体需定期检漏，防止空气混入引发电弧；

• 操作人员需佩戴防护眼镜和绝缘手套；

• 避免处理易燃易爆材料（如有机溶剂残留部件）。