实验室等离子清洗机的工作原理是什么？

实验室等离子清洗机的工作原理主要包括以下几个步骤：

• 气体电离：在真空腔体内，通过射频电源在一定的压力下产生高能量的等离子体。

• 物理轰击：等离子体中的活性粒子与物体表面发生碰撞，产生物理轰击，去除表面的污染物。

• 化学反应：等离子体与表面污染物发生化学反应，生成挥发性物质，从表面移除污染物。