等离子清洗机处理能更好地改善ITO表面形貌，同时可以看到ITO表面氧空洞明显增多，表面富集了一层带负电的氧，形成界面偶极层，增加了ITO表面功函数，使得ITO的空穴注人能力大大增强。此外，等离子清洗机处理以后ITO表面粗糙度减少，ITO膜与NPB之间的界面能减少，空穴注人变得容易，与由阴极注人的电子更好的复合产生激子，等离子体处理后的阳极制备的器件亮度高，质量好。